產(chǎn)品目錄 / Product catalog
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立式管式電爐組成的CVD系統設備由沉積溫度控件、沉積反應室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據用戶(hù)需要設計生產(chǎn),CVD系統除了主要應用在碳納米材料制備行業(yè)外,現在正在使用在許多行業(yè),包括納米電子學(xué)、半導體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域 。
立式管式電爐的爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電功能,使爐門(mén)打開(kāi)后自動(dòng)斷電。超溫保護功能,當溫度超過(guò)允許設定值后,自動(dòng)斷電及報警。 漏電保護功能,當爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。
CVD一、操作便捷性;
1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。
2、使取放物料過(guò)程簡(jiǎn)化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作。
3、取消了復雜的法蘭安裝過(guò)程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
二、結構實(shí)用性;
1、1200℃立式管式電爐系列:加熱爐膛有左右兩部分組成,其中右部爐膛可整體向右翻轉110°,方便取放、
觀(guān)察實(shí)驗物料,爐膛材料采用的多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,節能50%,溫場(chǎng)均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。
2、 密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調功能。
3、兩端氣路支架,支撐著(zhù)氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力,杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
4、的空氣隔熱技術(shù),結合熱感應技術(shù),當爐體表面溫升到達50℃時(shí),排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng),使爐體表面快速降溫。
三、使用安全性;
1、爐膛開(kāi)啟自動(dòng)斷電功能,使爐門(mén)打開(kāi)后自動(dòng)斷電。
2、超溫保護功能,當溫度超過(guò)允許設定值后,自動(dòng)斷電及報警。
3、漏電保護功能,當爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。
四、控制智能化;
1、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術(shù),具有PID調節、模糊控制、自整定功能,并可編制各種升降溫程序。
2、國產(chǎn)程序控溫系統可編輯50段程序控溫,進(jìn)口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。
3、電爐內配置有485轉換接口,可選配軟件實(shí)現與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、
實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。
五、周邊拓展性;
1、真空控制系統。通過(guò)各種真空控制系統,可以實(shí)現樣品在低、中、高真空環(huán)境下進(jìn)行試驗。
2、氣體流量控制系統。通過(guò)浮子或質(zhì)量流量控制器調節進(jìn)氣量,以滿(mǎn)足用戶(hù)在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的
實(shí)驗要求。
顯示畫(huà)面有儀表屏、光柱圖、實(shí)時(shí)曲線(xiàn)、歷史曲線(xiàn)、數據報表、全中文觸摸式操作,功能并且使用方便。
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